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Alicat 大流量气体流量计测量范围广,可达 0.5 SCCM - 10000 SLPM。采用内部补偿型层流压差技术,能使大流量下气体保持层流。内置绝压和温度传感器,可对压力、温度引起的流量差异进行补偿。具有 NIST 可溯源校准证书。产品为数字化设计,可多参数显示和输出,响应时间快,内置多种气体,还可现场标定混合气体,广泛应用于工业炉窑、半导体、汽车制造等多种流量测控场合。
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