更新时间：2025-01-23
| 产地 | 进口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 质保 | 1年 |
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
性能参数：
| 量程(N2) | 1SCCM-20SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重复性 | ±0.2%FS |
| 响应时间 | 1秒以内 |
| 耐压 | 1.0Mpa |
| 进口大压力 | O.3Mpa |
| 动作压差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
| 内抛光 | Ra≤0.1 |
| 温度范围 | 5-45℃ |
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) |
| 材质 | 本体SUS316L |
| 密封圈SUS316L、PTFE | |
| 电气接口 | DB9 |
| 模拟信号 | 0-5V输入/输出 |
| 供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
| 管路连接 | 标配1/4UJR |
| 选配1/8UJR | |
| 重量 | 约1000g |
★使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
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陈工