美国ALICAT耐高压质量流量控制器，适用于高压应用气体质量流量的测量和控制?？捎昧砍蹋?-5000 slpm；0-10 sccm，可调比：50:1，校准精度（NIST可溯源）：±2%满量程，可重复性：0.2%满量程，标准控制器响应时间常数：5-10ms，无需预热时间

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